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ASTM F951-2002 测定硅片径向晶隙氧变化的标准试验方法
世界资料网 / 2019-11-14
【英文标准名称】: Standard Test Method for Determination of Radial Interstitial Oxygen Variation in Silicon Wafers
【原文标准名称】: 测定硅片径向晶隙氧变化的标准试验方法
【标准号】: ASTM F951-2002
【标准状态】: 作废
【国别】:
【发布日期】: 2002
【实施或试行日期】:
【发布单位】: 美国材料与试验协会(US-ASTM)
【起草单位】: F01.06
【标准类型】: (Test Method)
【标准水平】: ()
【中文主题词】: 电子工程;试验;氧;径向
【英文主题词】: infrared transmission; interstitial oxygen; oxygen; radial variation; silicon; uniformity; variation
【摘要】: This standard was transferred to SEMI (www.semi.org) May 20031.1 This test method covers test site selection and data reduction procedures for radial variation of the interstitial oxygen concentration in silicon slices typically used in the manu
【中国标准分类号】: L64
【国际标准分类号】: 29_045
【页数】: 5P.;A4
【正文语种】:

关键字: ASTM F951

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