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IEC 62047-6-2009 半导体装置.微电机装置.第6部分:薄膜材料的轴向疲劳试验方法

IEC 62047-6-2009 半导体装置.微电机装置.第6部分:薄膜材料的轴向疲劳试验方法

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  • 商品货号:INFOEACH_80272
  • 商品品牌:国际电工委员会 IEC
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  • 上架时间:2021-02-27
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资料描述

【英文标准名称】: Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 6: Axial fatigue testing methods of thin film materials
【原文标准名称】: 半导体装置.微电机装置.第6部分:薄膜材料的轴向疲劳试验方法
【标准号】: IEC 62047-6-2009
【标准状态】: 现行
【国别】: 国际
【发布日期】: 2009-04
【实施或试行日期】:
【发布单位】: 国际电工委员会(IX-IEC)
【起草单位】: IEC/SC 47F
【标准类型】: ()
【标准水平】: ()
【中文主题词】: 定义;电气工程;疲劳;疲劳限制;材料;微电子学;微小系统技术;试样;半导体器件;规范(验收);系统工程;拉伸应变;拉伸测试;试验;试验装置;试验体系;薄膜;薄膜器件;薄膜技术
【英文主题词】: Base materials;Definitions;Dimensions;Electrical engineering;Fatigue;Fatigue limit;Materials;Microelectronics;Microsystem techniques;Room air temperature;Samples;Semiconductor devices;Specification (approval);System engineering;Tensile strain;Tensile testing;Testing;Testing devices;Testing system;Thin films;Thin-film devices;Thin-film technology
【摘要】:
【中国标准分类号】: L94;L47
【国际标准分类号】: 31_080_01;31_080_99;31_220_01
【页数】: 30P;A4
【正文语种】: 英语

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